Institut für Metallurgie

Arbeitsgruppe Metallurgische Prozesstechnik


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Glimmentladungsemissionsspektrometer (GDOES)

GDOES

Siehe auch Laborgeräte der TUC


Gerätebezeichnung Kurzform Zweck Gebäudenr. Verantwortlich Tel,Email
Glimmentladungsemissions-spektrometer GD-OES Materialanalysen (qualitativ und quantitativ); Tiefenprofil bis 100µm 0500 G. Zander 2646 gerrit.zander @tu-clausthal.de

Preis: ca. 250.000,- €

Baujahr: 2003

Physikalisches Prinzip: Zwischen der Probenoberfläche und einer Hohlanode wird bei einem Ar-Druck von wenigen hundert Pascal eine Glimmentladung aufgebaut.

Die in dieser Entladung entstehenden Ar+-Ionen werden durch ein Potenzial von ca. 1000V auf die Probenoberfläche beschleunigt und schlagen dort Metallatome heraus ("sputtering"). Die so erzeugten Metallatome gelangen ebenfalls in die Glimmentladung und werden dort angeregt. Die nach der Anregung entstehende Strahlung wird in einem Spektrometer zerlegt und dessen Intensität gemessen. Daraus lässt sich nach vorhergehender Kalibrierung die Zusammensetzung der Probe bestimmen.

Anwendung: Bestimmung der Probenzusammensetzung ("Bulk-Analyse"), Tiefenprofilmessung qualitativ und quantitaiv bis 100µm Tiefe mit einer Tiefenauflösung von 5 - 10 % der absolut erreichten Tiefe in den oberflächennahen Schichten. Prinzipiell sind alle Elemente messbar, inkl. H, O, N, C, P, S, Halogene und Edelgase (Ausnahme Ar, da es das Plasmagas ist); quantifizierbar sind nur die Elemente in Matrices für die man Kalibrierproben beziehen oder herstellen kann.


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